1.抽氣設備:例如各(gè)種真空泵(bèng);
2.真(zhēn)空閥門;
3.連(lián)接管道;
4.真空測量裝置:例如(rú)真空(kōng)壓力表、各種規(guī)管;
5.其它元(yuán)件:例如捕集器、除塵器、真空繼電器規頭、儲氣罐(guàn)等。
獲得真空用真空泵。真空泵按工作條件的不同分(fèn)為兩類: 能夠在大氣壓下工作的真空泵稱(chēng)為初(chū)級泵(如機(jī)械泵),用來產(chǎn)生預備真空。 需要在預備條(tiáo)件下才能工作的真空(kōng)泵稱為次(cì)級泵(擴散泵),次級泵用來進一步提高真空度(dù),獲得高真空。