1．抽氣速率(體積（jī）流率（lǜ）)(s單位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)
當泵裝（zhuāng）有標準試驗罩並按規定條件工作時，從試驗罩流過（guò）的氣體流量與在試（shì）驗罩上指定位置測得（dé）的平衡壓力之比。簡稱泵（bèng）的抽速。即在一定的壓力、溫度（dù）下，真空泵在單位時間（jiān）內從被抽容器中抽走的氣體體積。
2．極限壓力（極限真空（kōng））（單位：Pa/MPa/mmHg）
泵裝有標準試驗罩並按規定條件工（gōng）作（zuò），在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓力。即真空泵的入口端經過充分抽氣後（hòu）所能達到（dào）的最低（dī）的（de）穩（wěn）定的壓力。
3．起動壓力
泵無損壞起動並有抽氣作（zuò）用的壓力
4．前級壓力
排（pái）氣壓力低於一個大氣壓力的真空泵（bèng）的出口壓力。
5．最大前級壓力
超過了能使（shǐ）泵損壞的（de）前級壓力。
6．最大（dà）工作壓（yā）力
對應最大（dà）抽（chōu）氣量的入口壓力。在此壓力下（xià），泵能連續工作而不（bú）惡化或損壞·
7．抽氣量（Q單位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）
流經泵入（rù）口的氣體流量。
8．壓（yā）縮（suō）比
泵對給定氣體的出口壓力與入口（kǒu）壓力之（zhī）比。
綜上（shàng）所述：真空泵的抽氣速率和極限壓力兩個參量是在實際應用中選配真空泵的最重要（yào）的參量。
